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MCP屏蔽采煤機電纜1140V MCP礦用電纜

描述:

IGBT(Insulated Gate Bipolar Transistor,MCP礦用電纜絕緣柵雙極晶體管)已被廣泛使用,高電壓和大電流是其未來的發展方向,MCP礦用電纜近年來,它已在高壓直流輸電領域得到應用。著功率容......

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  IGBT(Insulated Gate Bipolar Transistor,MCP礦用電纜絕緣柵雙極晶體管)已被廣泛使用,高電壓和大電流是其未來的發展方向,MCP礦用電纜近年來,它已在高壓直流輸電領域得到應用。著功率容量的不斷提高,對設備的設計和制造提出了更高的要求。了縮短設計周期,提高效率,降低制造成本,應采用計算機仿真,以大大提高工作效率。文使用ISE軟件根據帶外情況進行仿真研究。果表明,該軟件仿真方法可以有效指導設備生產。于高壓高電流IGBT的制造,MCP傳統的外延方法不再適用[1]。MCP礦用電纜將器件直接放置在硅單晶上已導致工藝流程的改變。了提高效率,MCPMCP降低制造成本,從單晶硅材料的選擇到加工技術的每一步都有系統和嚴格的要求[2]。算機仿真設計方法可以顯著提高生產可靠性,包括結構過程仿真,電氣特性仿真和布局設計[3]。用計算機軟件對IGBT器件的過程進行仿真,即,通過適當調節擴散過程的溫度,時間和氣氛,MCP礦用電纜采煤機模擬了最佳器件參數,例如硼-磷結深度,采煤機并最終獲得了理想的器件結構。文設計的IGBT器件是基于透明陽極技術的NPT型IGBT。用環形現場卡的混合終端結構[4]。程仿真的二維結構如圖1所示。過程仿真生成的器件結構的電特性進行了仿真,MCP礦用電纜MCP礦用電纜并獲得了器件關鍵參數的仿真曲線[5]。
  值電壓的仿真。真結果表明,影響閾值電壓的因素首先是P阱區的摻雜濃度及其雜質分布,采煤機然后是柵氧化層的厚度。電纜發現器件的通道越長,雜質的分布越平坦,并且越容易控制閾值電壓。在實際工藝中,由于P阱區的摻雜和退火工藝與雜質的重新分布密切相關,因此應該對其進行優化,MCP礦用電纜以最大程度地減小P阱區的雜質分布的波動。以獲得更穩定的閾值電壓。最終提高了設備??參數的一致性和一致性[6]。值電壓的特性曲線在圖2中示出。

MCP屏蔽采煤機電纜1140V MCP礦用電纜_no.326

  真結果表明,采煤機芯片厚度,MCP礦用電纜襯底摻雜濃度,P體摻雜濃度和柵氧化層厚度都是影響該狀態下特性的因素。通狀態下的特性曲線如圖3所示。真結果表明,影響開關參數的因素包括P 陽極的摻雜濃度,電纜柵氧化層的厚度,MCP多晶硅的厚度和摻雜濃度。果存在N 緩沖層,電纜則與摻雜濃度和緩沖層(7)的厚度有關。開關參數與芯片的總體布局,MCP特別是多晶硅柵極的布局結構有很大關系。
  關特性曲線如圖4所示。據過程仿真的結果,電纜確定器件的橫向尺寸,并繪制芯片布局,如圖5所示。

MCP屏蔽采煤機電纜1140V MCP礦用電纜_no.148

  
  過過程仿真和仿真器的電氣特性進行仿真IGBT,電纜充分結合了流片測試情況,研究結果表明,計算機仿真結果與測試數據非常吻合,MCP礦用電纜電纜為器件的制造提供了有力的支持[8]。
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